電子材料級過濾洗滌干燥機

亞光長期從事過濾、洗滌、干燥及高潔凈工藝裝備研發制造，是 JB/T 20099-2022《藥物過濾洗滌干燥機》獨家起草單位，累計交付過濾洗滌干燥設備1800+臺。產品形成多規格系列，并可根據客戶物料特性、工藝路線及純度控制要求開展非標定制，在設備結構、密閉方式、材質體系、清洗、自動化及工藝適配等方面進行針對性設計。

針對高純電子材料對金屬離子、腐蝕及潔凈度的控制要求，設備可根據物料和工藝條件選用 316L、904L、Hastelloy、鈦材等接觸材質，高配可采用電解拋光，表面粗糙度可達 Ra ≤ 0.2 μm。半導體及高純電子材料場景可優先采用濾布，降低金屬過濾介質可能帶來的金屬離子引入風險；對于更高純度或強腐蝕工況，還可配置 PFA / ECTFE / PTFE 噴涂或襯里，構建低析出、耐腐蝕的物料接觸界面。

設備特點：
極限低析出：關鍵金屬元素單項溶出量 ≤1 ppb，支持 SEMI Grade 3；設備本體內表面采用電解拋光，配合可選配高純涂層/襯里；全密閉+雙端面機械密封+N?/Ar保護，減少環境暴露。
全密閉一機完成：一臺設備完成過濾—置換洗滌—脫液—真空干燥—自動出料，減少人工轉運；過濾介質可選濾布以避免金屬離子析出，或使用多層金屬燒結濾板避免纖維脫落。
溫和保護：低剪切攪拌保護分子鏈與PDI；高真空低溫脫溶把殘溶殘水壓進窗口；全流程密閉自動、參數可追溯，保障批次一致性。

應用范圍：
- 光刻膠樹脂 / 成膜樹脂
- PAG 及相關電子材料
- 液晶單體及中間體
- 鈦合金 3D 打印材料
- 高純晶體
- 精細電子化學材料